BOCスペシャルガスのシリンダー洗浄および分析施設は、半導体産業向けの安定した高純度プロセスガス供給に特化した、シリンダー準備用の新しいクリーンエリアに多額の投資を行いました。
同社は、南ロンドンのモーデンにある施設から、1立方フィートあたり10個未満の粒子で認証されたあらゆる種類のガスを供給できます。主要な不純物を10億分の1未満のレベルで測定できる高度な分析装置が設置されています。
シリンダー準備プロセスはマイクロプロセッサー制御されており、精度、製品の一貫性、トレーサビリティのための実績あるデータ取得システムを備えています。
徹底的な外部洗浄の後、シリンダーはハロカーボン（大気放出を避けるためにリサイクル）パージガスと脱イオン水を用いた独自のプロセスで内部洗浄されます。その後、残留不純物を除去するために、シリンダーは真空下で加熱されます。
スペシャルガスは、非常に高い純度レベルでの乾燥のために、シリンダー全体を均一に加熱するためにサーモセーフ誘導ヒーターを使用しています。この誘導加熱の新しい応用は、不均一な加熱によって引き起こされるストレスを回避します。加熱後、残留ガス分析が実施され、続いて粒子数測定が行われます。その後、シリンダーは充填準備が整います。
トレーサビリティはプロセス全体に組み込まれており、各ステップはデータベースに直接記録され、永続的なシリンダー履歴を提供します。顧客は自身の注文に関するデータベースの一部にアクセスでき、BOCはその情報を統計的プロセス管理作業に利用しています。
ガスシリンダー加熱ジャケット：
「安全な」エリアでのガスシリンダー加熱用に、オーダーメイドのフレキシブル加熱ジャケットも供給可能です。シリンダーのサイズをお知らせいただければ、それに応じて見積もりをいたします。